6月4日消息，根据企查查的资料显示，国内高端准分子激光技术厂商北京科益虹源光电技术有限公司（以下简称“科益虹源”）发生工商信息变更，新增华为旗下的哈勃科技投资有限公司（以下简称“哈勃投资”）、徐州光远股权投资合伙企业（有限合伙）及自然人江锐成为公司股东，同时注册资金由12000万元提升至20160万元，增幅达68%。其中，哈勃投资持股4.7619%。
资料显示，科益虹源成立于2016年7月，由中国科学院微电子所、亦庄国投、国科科仪等共同出资设立。随着2018年3月科益虹源自主设计开发的国内首台高能准分子激光器顺利出货，打破了国外厂商的长期垄断。科益虹源也成为了中国唯一、世界第三家具备193nm ArF准分子激光技术研究和产品化的公司。
科益虹源还承担了“02重大专项浸没光刻光源研发”、“02重大专项核心零部件国产化能力建设”、“02重大专项集成电路晶圆缺陷检测光源”等国家专项。
此外，科益虹源也是国产光刻机厂商上海微电子的光源系统供应商。此前消息也显示，科益虹源还将与上海微电子整机单位共同完成28nm国产光刻机的集成工作。
而此次华为旗下的哈勃投资入股科益虹源，似乎也正是为了加码布局光刻机领域的研发。
